IPV、3PV、APC 型（通用）
- 一個(gè)作確保運行。
- 這是一種緊湊且節省空間的設計，因為它的元件數量簡(jiǎn)單且數量最少。
- 它的設計經(jīng)久耐用且免維護，可進(jìn)行高達 500,000 次 FullClose/FullOpen作 （200,000 APC）。
- O 形圈是標準閥門(mén)密封件。有助于降低成本。
- 可以通過(guò)卸下一個(gè)螺栓來(lái)拆卸閥體。
APC 型特征
我們的獨家控制器提供完整的性能。
- 專(zhuān)用控制器配備了通道功能，用于計算腔室容積的最佳參數。
- 通過(guò)高速控制，可實(shí)現精確的壓力控制和位置控制。
- 最多可連接兩個(gè)壓力傳感器。
- 可實(shí)現零電導控制。
主要常用規格（標準）
| IPV | 3光伏 | APC公司 | |
|---|---|---|---|
| 對應孔徑 | 160?500 安培 | 160?500 安培 | 160?350 安培 |
| He 泄漏量（在 FKM 密封材料的情況下） | 閥體：1.3×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s]外部（本體）：4.0×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s] | 閥體：1.3×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s]外部（本體）：4.0×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s] | 閥體：1.3×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s]外部（本體）：4.0×10-{回旋過(guò) （）}10[Pa·m{回旋過(guò) （）}3/s] |
| 工作溫度 | 90°C（驅動(dòng)：60°C） | 90°C（驅動(dòng)：60°C） | 90°C（驅動(dòng)：60°C） |
| 工作壓力 | 0.5MPa | 0.5MPa | - |
| 保修期 | 12 個(gè)月 | 12 個(gè)月 | 12 個(gè)月 |
| 閥門(mén)壽命 | 開(kāi)/關(guān)：500,000 次 ※ 400A：150,000 次 ※ 500 A：100,000 次 （可選 300,000 次） | 開(kāi)/關(guān)：500,000 次 ※ 400A：150,000 次 ※ 500 A：100,000 次 （可選 300,000 次） | 開(kāi)/關(guān)：500,000 次 ※ 400A：150,000 次 ※ 500 A：100,000 次 （可選 300,000 次） |
擺式閥的使用實(shí)例
作為真空室和排氣泵之間的排氣系統閥安裝。
IPV：用于負載鎖室和傳輸室
3PV：用于工藝室以保持恒定的電導率
APC：用于保持恒定的波動(dòng)壓力。
