FS-3000 型

熱分流器

FS-3000 結合了 HORIBA STEC 的質(zhì)量流量控制器 （MFC） 和 MuCube（主控制器）。FS-3000 通過(guò)配備 HORIBA STEC 專(zhuān)有控制算法的 MuCube 控制 MFC，實(shí)現了穩定的分光控制。

該控制算法通過(guò)控制流速比實(shí)現穩定的流速分流控制，同時(shí)使用 HORIBA STEC 獨創(chuàng )的控制優(yōu)化技術(shù)控制 FS-3000 的上游壓力。此外，即使改變分流比，控制算法也能實(shí)現對流速分流的高速響應。

• 提高可擴展性、維護性能 FS-3000 支持通過(guò)高速信號處理分離多達 15 個(gè)流道。當 MFC 發(fā)生故障時(shí)，只需更換發(fā)生故障的從站即可修復 FS-3000。

• 靈活響應所需規格 FS-3000 支持多種氣體，包括混合氣體。此外，FS-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 作為用戶(hù)界面。