SEC-E 系列

質(zhì)量流量控制器

這款通用質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可讓您實(shí)現對氣體流量的高級控制。質(zhì)量流量控制器 sec-e 系列是一種多功能元件，可用于廣泛的行業(yè)。

通過(guò)質(zhì)量流量控制器的氣體流量可以在一系列流量?jì)冗M(jìn)行控制：從 10 SCCM 到 200 SLM。

• 配備可靠的熱傳感器和電磁閥
• 流量控制范圍廣：從 10 SCCM 到 200 SLM （N2）
• 適用于廣泛的應用
• 集成到各種制造系統中，包括：LCD、光伏電池、功率半導體、涂層
  • 一般工業(yè)：燃燒器氣體控制、大氣氣體控制、混合氣體的產(chǎn)生、通風(fēng)量的測量
  • 研發(fā)：各種氣體傳感器和燃燒器的性能評估設備;生物技術(shù)相關(guān)評估
  • 實(shí)驗室：用于各種實(shí)驗的氣體流量控制器、采樣氣體等。