標準 D500

壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

這種領(lǐng)先的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執行器閥。

CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列先進(jìn)的半導體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE（綜合限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能、高精度、快速響應、量程寬、全金屬。

• 壓力不敏感性能
  新的高性能壓力不敏感功能提供了簡(jiǎn)化的供氣系統
• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶(hù)更改氣體類(lèi)型、滿(mǎn)量程流量和供氣壓力范圍
• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能
  先進(jìn)的過(guò)程健康監測功能允許作員進(jìn)行自己的測試，通常在 3 秒或更短的時(shí)間內，以提高吞吐量
• 高精度
  通過(guò)先進(jìn)的三維調整提高了工藝氣體的流量精度
• 快速響應
  響應：< 0.8 秒
  可實(shí)現準確、穩定的流量控制
• 動(dòng)態(tài)范圍
  寬控制范圍：0.2% F.S. 至 100% F.S.